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产品参数如下
| 型号 | DTS-025-02 | DTS-025-04 | DTS-050-10 | DTS-050-20 | |
| 测量范围 | mm | 2 | 4 | 10 | 20 |
| 线性中点 | mm | 25 | 25 | 50 | 50 |
| 测量位移 | |||||
| 扩展量程近端 | mm | 23.75 | 22.5 | 43.75 | 37.5 |
| 量程近端 | mm | 24 | 23 | 45 | 40 |
| 线性中点 | mm | 25 | 25 | 50 | 50 |
| 量程远端 | mm | 26 | 27 | 55 | 60 |
| 扩展量程远端 | mm | 26.25 | 27.5 | 56.25 | 62.5 |
| 线性度 (量程内) | |||||
| 1倍曝光时间 | %FSO | 0.0375% | |||
| 2倍曝光时间 | %FSO | 0.0300% | |||
| 1倍曝光时间 | μm | 0.75 | 1.50 | 3.75 | 7.50 |
| 2倍曝光时间 | μm | 0.6 | 1.2 | 3 | 6 |
| 镜面型激光的反射角度 | θ | 45° | 30° | ||
| 噪声(2倍曝光时间, 500Hz) | |||||
| 白色被测物在线性中点的位置 | μm RMS | 0.125 | 0.25 | 1.25 | 2.5 |
| 光点大小 | |||||
| 在线性中点最大直径 | μm | 30 | 30 | 25 | 25 |
| 最高分辨率 | nm | 38 | 76 | 191 | 381 |