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r r r r r r r r r r r r r 硅熔炼提纯铸锭真空炉r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r用途： r r r r 主要用于硅的熔炼、提纯与铸锭r r r r r r

r r r   特点： r r r r r r r r r r r r r r   ★  采用IGBT中频感应电源r r r   ★  采用石英或高纯石墨坩埚r r r   ★  采用高纯石墨和高等级硬质碳毡r r r   ★  采用伺服控制下拉定向凝固r r r   ★  伺服控制范围为0.03mm-3mm/minr r r   ★  定向凝固速率：0.1mm-0.5mm/Minr r r r r r r r r r r r r r

r r   技术参数： r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r r 型号r r r Modelr r r r 有效区尺寸r r r （ mm ）r r r r 装炉量r r r （Kg ）r r r r 温度r r r （℃）r r r r 均温性r r r （±℃）r r r r 极限压力r r r （ Pa ）r r r r 压升率r r r （Pa/h）r r r r 充气压力r r r （ bar ）r r r r HZG-55r r r r φ500x500r r r r 80r r r r 1600r r r /r r r 2000r r r r 5r r r r 4.0 E -1r r r /r r r 6.7 E -2r r r r 0.67r r r r 0.8r r r r HZG-75r r r r φ700x500r r r r 100r r r r HZG-95r r r r φ900x500r r r r 240r r r r r r r r r r r r r r r r r r r

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